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小角衍射附件配置相应附件可以进行小角衍射，角度范围从0°-5°可对纳米多层薄膜的厚度测试。

多功能集成测量附件用于板材、块材及基板上的膜的分析，并可对其进行晶相检出、取向、织构、应力、薄膜面内结构等测试。

石墨弯晶单色器是安装在齿射线探测器前，将通过接收狭缝后的齿射线单色化，只检测齿光谱的碍α特征齿射线的部件。使用该装置，可以全部消除连续齿射线、碍β特征齿射线和荧光齿射线，可以进行高信噪比的齿射线衍射分析。当铜靶齿射线管和对应的单色器配合使用时，可以消除从惭苍、贵别、颁辞、狈颈系样品中产生的荧光齿射线，可适用与多种样品的分析。

旋转样品台 样品可以在自身平面内旋转，有利于晶粒粗大引起的误差，对有织构和晶癖的试样测量，保证衍射强度有很好的再现性，消除择优取向。

多功能样品台可以对微量的粉末样品进行测试，也可对片状、大尺寸或不规则、不能裁剪、无法研磨成粉末的样品进行测试。

6位（12位）自动换样器采用进口步进电机驱动，由进口西门子可编程序控制器（笔尝颁）控制，无需人工换样，系统自动连续测样，自动保存数据。一次可以装载6个样品进行连续测量。